Equipo de limpieza circular monocristalino

NegociableActualización en02/15

modelo

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Descripción general

La serie de limpieza circular monocristalina ultra C de shengmei se puede utilizar ampliamente en una variedad de procesos de sección delantera (ferol) y trasera (beal) en la fabricación de circuitos integrados avanzados, que se pueden equipar con diferentes soluciones químicas y métodos de limpieza auxiliares de acuerdo con diferentes aplicaciones, así como en la fabricación de obleas, fabricación de microelectromes y fabricación de dispositivos de potencia.

Detalles del producto

Equipo de limpieza circular monocristalino

- limpieza previa a la deposición

• limpieza después del grabado

- limpieza posterior al cmp

- limpieza estándar RCA

- limpieza posterior a W Loop

· limpieza posterior al ciclo de cobre

- Eliminación de polímeros de Beol

- limpieza profunda Trench / via

- Eliminación de películas

- limpieza posterior al TSV

- limpieza previa al EPI

- limpieza previa a la ALD

Principales ventajas y especificaciones características (ultra c II & ultra C V & ultra c vi)

Se puede combinar con 8 cavidades, 12 y 18 cavidades, con una capacidad de hasta 225 / h, 375 / H y 800 / H.

Con capacidad de limpieza de doble cara, se puede combinar hasta cinco líquidos de limpieza, como: dhf, DSP +, F - diw, fom, sc1, sc2, dio3, st250, ekc580, ne111, IPA o líquidos de fórmula; Módulo integrado de suministro de líquido medicinal

Hasta 2 líquidos recuperables, bajo COO

Opcional con tecnología de secado mejorada IPA a temperatura ambiente o IPA a alta temperatura

Se puede optar por la limpieza de dos fluidos de diw atomizada con nitrógeno o la limpieza de dos fluidos de SC1 atomizada con nitrógeno para ayudar a eliminar la tecnología de megaondas acústicas de partículas. la tecnología de megaondas acústicas húmedas en superficies planas o estructuras de agujeros profundos realiza una limpieza eficiente y sin daños de las láminas gráficas.

Tamaño del equipo: Ultra C II 2.35m x 5.53m x 2.85m, Ultra C V 2.35m x 6.7m x 2.85m, Ultra C VI 2.35 Metros x 6,30 metros x 2,85 metros (ancho x largo X alto)

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