Principales ventajas

Está equipado con un diseño de cavidad con derechos de propiedad intelectual independientes y un diseño de disco de calentamiento múltiple de cavidad única.

Equipado con un dispositivo especial de distribución de gas y un diseño de Chuck

La transformación para la superposición de películas puede proporcionar una mejor uniformidad de la película, un mejor estrés de la película y menos propiedades de partículas.

Teniendo en cuenta los requisitos de alta capacidad, cada cavidad está equipada con varios discos de calefacción.

Configuración flexible del número de cavidades teniendo en cuenta los diferentes requisitos de capacidad

El software de control desarrollado de forma independiente puede configurarse de manera flexible para satisfacer las necesidades correspondientes.

Reglas de acceso a obleas de disco de calentamiento múltiple para brazos robóticos de vacío diseñados que coinciden con la cavidad

La temperatura del proceso es compatible con los diversos requisitos de película de depósito pecvd de 200C a 650c.

Características y especificaciones

Se puede aplicar a diversas necesidades de depósito de película delgada de obleas de 300mm.

El dispositivo adopta un diseño modular de cavidad única, con dos configuraciones:
Una es configurar módulos de una a tres cavidades, adecuados para depositar películas relativamente delgadas teniendo en cuenta la capacidad de producción.
Una es que se puede configurar con módulos de cuatro a cinco cavidades, adecuados para depositar películas relativamente gruesas compatibles con brazos robóticos de vacío de brazo largo.