Principales ventajas

Se utiliza para el grabado y limpieza de una variedad de capas de película superpuestas diferentes en el borde de la obleas, mejorando la tasa de rendimiento del borde de la obleas de tecnología avanzada.

Alta precisión de grabado, ancho de grabado ajustable

La tecnología autónoma puede lograr una alineación de obleas más precisa y eficiente, alta precisión de control y alta uniformidad, y puede lograr un grabado de borde preciso.

Alta capacidad y bajo consumo de productos químicos

Los equipos y procesos se pueden expandir a nodos tecnológicos de proceso por debajo de 10 nm.

El grabado de materiales inferiores tiene una alta relación de selección y no daña las obleas.

Excelente capacidad de limpieza de bordes de obleas, mejor control de partículas

Se puede aplicar de manera flexible a una variedad de materiales de sustrato, incluyendo películas fuertemente dopados, películas de unión, películas ultrafinas, etc.

Características y especificaciones

Adecuado para la limpieza de bordes de obleas de 12 pulgadas

Se pueden configurar hasta 4 puertos Lord

Se pueden configurar 12 cavidades de proceso

La placa de vacío sujeta la obleas

Se puede limpiar el borde de la parte delantera y trasera de la obleas, y se pueden equipar hasta 5 tipos de líquido medicinal para el proceso de limpieza.

Cada cavidad está equipada con una unidad de alineación de obleas de alta precisión.

Se puede configurar una unidad de detección de borde de obleas de alta precisión