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13112345679
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Categorías de producto
Shengmei Semiconductor Equipment (shanghai) co., Ltd.
Equipo de limpieza acústica mega SAPS
NegociableActualización en02/15
- modelo
- Naturaleza del fabricante
- Productores
- Categoría de producto
- Lugar de origen
Descripción general
Tecnología shengmei * tecnología - cambio de fase alternante espacial (saps ) tecnología para lograr una distribución uniforme de las ondas megaacústicas en la superficie de la pasta controlando el cambio de la distancia entre el dispositivo de limpieza de ondas megaacústicas y la pasta con la fase de ondas megaacústicas para lograr un efecto de limpieza químico.
Detalles del producto
Equipo de limpieza acústica mega SAPS
- limpieza de zanjas profundas
- limpieza posterior al cmp
• limpieza después de la deposición de hard Mask
• limpieza después del grabado de contacto / via
• limpieza previa a la deposición de barier Metal
- reciclaje y limpieza de obleas
- limpieza previa a la deposición de Epi
- limpieza previa a la deposición de ALD
Características y especificaciones (ultra C SAPS ii)
Se puede equipar a un máximo de 8 cavidades con una capacidad de producción de 225wph
Limpieza de doble cara, se puede combinar con hasta 5 tipos de líquido de limpieza, como. DHF SC1, SC2, DIO3, BOE, Solvent, HF/HNO3…
Hasta dos líquidos recuperables
Módulo integrado de suministro de líquido medicinal
El dispositivo es pequeño: 2,35 m x 5,53 m x 2,85 M (ancho x largo X alto)
Características y especificaciones (ultra C SAPS v)
Con todos los equipos ultra C SAPS II
Se puede equipar a un máximo de 12 cavidades con una capacidad de 375 wph
Módulo integrado de suministro de líquidos químicos
Tecnología que se puede combinar con secado IPA de alta temperatura
Volumen del dispositivo: 2,35 m x 6,7 m x 2,85 M (ancho x largo X alto)
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