Horno de vacío hmds de cuatro cámaras horno hmds de estación múltiple informático

Función principal del horno hmds multiestación informático

El equipo pretrata el sustrato con hexametildisilano (hmds) de manera rápida, uniforme y económica, mejorando así la adherencia del sustrato al fotorresistente.

La adherencia fotorresistente de alta calidad es la base de todos los pasos tecnológicos posteriores. solo la superficie completamente recubierta puede reproducir con precisión la barrera de enfoque de polimerización a nivel submicron para evitar problemas como la explosión de borde o pares. El proceso de solidificación al vacío puede deshidratar rápidamente el sustrato, lo que permite mantener estable la excelente fuerza de Unión formada con la capa hmds incluso después de varias semanas de exposición a la humedad atmosférica.

Horno de vacío hmds de cuatro cámaras horno hmds de estación múltiple informáticoCaracterísticas del proceso

Uniformidad de la deposición química

Mejor uniformidad del ángulo de contacto

Tratamiento de superficie a prueba de humedad

La adherencia del fotorresistente se puede aumentar 3 - 5 veces.

Evitar la formación de agujeros de llenado (void) y mejorar la calidad de la transferencia gráfica

Mejorar la adherencia fotorresistente

Menor consumo de hexametildisilano (hmds)

Industria aplicable: microelectromes, filtros, amplificación, potencia y otros dispositivos, obleas, zafiros, vidrio, metales preciosos, sic (carburo de silicio), Gan (nitruro de galio), ZNo (óxido de zinc), Gao (óxido de galio), arsénico de galio, Niobato de litio y materiales semiconductores de tercera generación como fosfuro de indio y diamante.

Horno de vacío hmds de cuatro cámaras horno hmds de estación múltiple informáticoRendimiento

Volumen: 40l * 4, (producto de 1 - 12 pulgadas compatible con fragmentos) se puede personalizar

Aplicación operativa: control independiente de 4 estaciones

Rango de temperatura: rt + 20 - 200 ° C

真空度： ≤1torr

Automatización: control informático + control de posición en el mes

Bomba de vacío: bomba de vacío de desplazamiento sin aceite

Función de alerta de fuga de líquido medicinal hmds

Función de alerta de alarma de bajo nivel hmds

Función de registro de datos del proceso

Funciones como la protección de bloqueo del programa