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Correo electrónico
123@qq.com
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Teléfono
13112345679
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Miembros
¿¿ qué?Ayuda
¿¿ qué?Shengmei Semiconductor Equipment (shanghai) co., Ltd.
123@qq.com
13112345679
Cavidad de galvanoplastia horizontal, sin contaminación cruzada
Se puede mantener en una sola cavidad para mejorar el tiempo de funcionamiento normal del equipo (up time)
Tecnología de sellado de caucho, mejor rendimiento de sellado
Tecnología de segundo ánodo para un mejor control de la uniformidad
Control flexible del proceso
兼容8寸和12寸
Se puede equipar hasta 3 puertos de carga
Se puede equipar hasta 4 tipos de cámaras prehúmedas, controladas por vacío
Se puede equipar hasta 4 cámaras de limpieza
Se puede combinar hasta 20 cavidades galvánicas: cobre, SN / ag, ni
Tamaño del equipo: 2050 x 5950 x 2650 mm
Rendimiento del proceso:
Homogeneidad intratableta: < 5% - Min / 2 media)
Homogeneidad intergranular inferior al 3%
Repetibilidad: < 3%
COP: < 2,0 µm
