Equipo de limpieza trasera

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Naturaleza del fabricante: Productores

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Descripción general

El equipo de limpieza de la parte posterior de shengmei se puede utilizar para limpiar la parte posterior de la pasta o el proceso de grabado húmedo, mientras que proporciona protección de nitrógeno para la parte posterior de la pasta a través de la bandeja de bernoulli. Este dispositivo se puede utilizar ampliamente en el campo de la fabricación de circuitos integrados y el embalaje a nivel de obleas.

Detalles del producto

Equipo de limpieza trasera

Principales ventajas

La parte posterior de la obleas está completamente protegida por el disco de bernoulli.

La función de recuperación de líquido medicinal puede reducir costos

Se puede integrar la función de limpieza de dos fluidos de nitrógeno

Se puede aplicar de manera flexible a los procesos de grabado húmedo, como el grabado de silicio y el grabado de película delgada.

Sistema avanzado de escaneo de la boquilla

Control preciso de la uniformidad del grabado húmedo

Suministro preciso de productos químicos líquidos

Se puede aplicar de manera flexible a una variedad de materiales de sustrato, incluyendo películas fuertemente dopados, películas de unión, películas ultrafinas, etc.

Especificaciones características

Se puede equipar hasta 8 Juegos de cámaras de limpieza

Equipado con unidades de volteo de obleas

Se puede combinar con hasta 5 tipos de líquidos para el proceso de limpieza o el proceso de grabado húmedo, líquido rca, ácido fluorhídrico, mezcla de ácido fluorhídrico / ácido nítrico, líquido medicinal de fórmula, etc.

El disco de Bernoulli protege completamente la parte posterior del chip

Hasta 2 productos químicos recuperables

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