Filtro de gas entegris

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Descripción general

Wgfg01dsh es un filtro punto - de - uso (punto de uso terminal) especialmente diseñado para sistemas de transporte de gas de alta pureza. Se utiliza principalmente para proteger los equipos de proceso clave aguas abajo, eliminar los contaminantes de partículas en el gas y garantizar que el gas de proceso cumpla con los estrictos requisitos de limpieza.

Detalles del producto

Filtro de gas entegris wgfg01dsh

1. Resumen del producto
Wgfg01dsh es un filtro punto - de - uso (punto de uso terminal) especialmente diseñado para sistemas de transporte de gas de alta pureza. Se utiliza principalmente para proteger los equipos de proceso clave aguas abajo, eliminar los contaminantes de partículas en el gas y garantizar que el gas de proceso cumpla con los estrictos requisitos de limpieza.

2. parámetros y especificaciones básicas

proyecto	Parámetros / especificaciones
Modelo del producto	WGFG01DSH
Nivel del filtro	Por lo general, se configura como un filtro de sinterización de metal de 0003 micras (3 nanómetros) o superior, dependiendo del sufijo del modelo de pedido.
Medio filtrante	Fieltro de fibra metálica sinterizada de acero inoxidable (como la tecnología de fieltro de fibra bekaert de entegris).
Material de la carcasa	Acero inoxidable 316L (hierro bajo, bajo en azufre).
Modo de conexión	VCR ® O vco ® Junta de sellado facial, el tamaño suele ser de 1 / 4 pulgadas o 1 / 2 pulgadas (se debe confirmar de acuerdo con el pedido específico).
Material de sellado	Por lo general, se utilizan sellos de metal completo (sin polímero) o caucho flúor opcional que cumple con los requisitos del proceso de semiconductores (como viton) ®/ Fkm) anillo de sellado.
presión de diseño	Diseños de alta presión, típicos como 2000 psig (138 bar) o más, consulte específicamente la hoja de datos del producto.
temperatura de diseño	Se puede adaptar a un ambiente de cocción a alta temperatura, con un rango de temperatura de trabajo típico de más de 150 ° c.
Tratamiento de superficie	El interior de la carcasa es tratado por pulido electrolítico (ep) para reducir la absorción de partículas y la tasa de salida de aire.
Tasa de eliminación de partículas	La eficiencia de eliminación suele ser ≥ 999999% para partículas con tamaño objetivo (como ≥ 0003 micras).
Prueba de fábrica	Cada filtro ha sido sometido a estrictas pruebas de integridad de fábrica (como la prueba de punto de burbuja) y pruebas de desafío de partículas, y proporciona un informe de certificación (coc).
Área de aplicación	La fabricación de semiconductores, los paneles de visualización, la fotovoltaica, las barras prefabricadas de fibra óptica y otros enlaces tecnológicos que requieren gas de ultra alta pureza son comunes en la litografía, el grabado, CVD、 Líneas de suministro de gas para equipos como la implantación de iones.

3. principales características funcionales
Alta eficiencia de captura: se adopta un mecanismo de carga profunda para la capacidad de retención de partículas submicron y nanométricas.
Baja precipitación y baja liberación de gas: toda la estructura metálica y el tratamiento de pulido electrolítico controlan eficazmente la precipitación de iones metálicos y reducen la desorción de agua y gas.
Alta integridad estructural: filtro metálico sólido y carcasa, resistente a las fluctuaciones de presión, choques y altas temperaturas del sistema.
Amplia compatibilidad: adecuado para todo tipo de gases de proceso de alta pureza, corrosivos e inertes, como n, h, o, ar, he, sih, hcl, c1, wf, etc.

4. nota importante

Los parámetros técnicos específicos (como el tamaño de la conexión, el nivel de filtración preciso, la calificación de presión) deben serEspecificaciones finales del producto (hojas de datos) e informes de certificación publicados por entegrisPrevalecerá.

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