I. introducción al equipo
Los equipos de agua ultrapura de semiconductores son equipos de agua ultrapura aplicados a la limpieza de piezas de producción de semiconductores, que deben cumplir con estándares específicos de calidad del agua.,La calidad del agua de salida de los equipos de agua ultrapura de semiconductores debe ajustarse a los Estados Unidos.ASTMNormas de calidad del agua pura, normas técnicas de calidad del agua de grado electrónico para la industria electrónica de China(18MOmega.cm、15MOmega.cm、10MOmega.cm、2MOmega.cm、0.5MOmega.cm)Indicadores de agua pura para la industria de semiconductores y estándares de calidad del agua para circuitos integrados. RongLa gran protección del medio ambiente se basa en cumplir con los estándares de uso del agua de los usuarios.Sobre la base, en el sistema de equipos, los tanques de agua están equipados con sistemas de control de nivel, las bombas de agua están equipadas con dispositivos de protección de presión, instrumentos de detección y control de calidad del agua en línea, y el uso eléctrico.PLCEl controlador programable realmente logra que nadie esté de servicio, y al mismo tiempo, adopta un método unificado de recomendación y requisitos del cliente en la selección de materiales de proceso, lo que hace que el equipo tenga una mayor relación calidad - precio y fiabilidad del equipo en comparación con otros productos similares.
II. criterios y bases de diseño
1. "A medida" de acuerdo con el informe detallado de calidad del agua proporcionado por el usuario.
2. Condiciones técnicas de los equipos de tratamiento de aguaJB/T 2932-1999Libro
3. Norma para equipos de tratamiento de agua de ósmosis inversaCJ/T119-2000Libro
4. Conjunto completo de equipos de conmutación y equipos de control de baja tensión.IEC439-1Libro
5. LaboratorioAgua ultrapuraIndicadores técnicosCriterios《GB6682-2008Libro
6. Nivel electrónico nacionalAgua ultrapuraEspecificacionesGB/T11446.1-1997Libro
III. procesos tecnológicos
1、 Agua cruda - bomba presurizada de agua cruda - filtro multimedio - filtro de carbón activado - Suavizador de agua - filtro de precisión - ósmosis inversa de primera etapa -PHRegulación - tanque de agua intermedio - ósmosis inversa de segunda etapa - tanque de agua purificada - bomba de agua pura -EDISistema - tanque de agua ultrapura - bomba de agua pura - dispositivo de pulido - ultrafiltración Terminal - punto de agua
IV. características del diseño
1. El sistema adopta un control totalmente automático(Al mismo tiempo, también se puede adoptar el control manual), y se pueden establecer procedimientos automáticos de lavado y regeneración cuando el sistema está en funcionamiento;
2. El cableado de cada unidad se completa uniformemente en la fábrica, reduciendo el tiempo de instalación y puesta en marcha;
3. La ósmosis inversa primaria y secundaria están equipadas con tuberías de retorno, y el equipo de ósmosis inversa está equipado con dispositivos de limpieza química;
4. Las tuberías generalmente se utilizanUPVCMaterial;
5. Sistema de control integrado y sistema de instrumentos integrado, etc., para facilitar la operación y gestión;
6. ROMembranaLimpieza regular Con arranque y limpieza regularROFunción de membrana, extensiónROVida útil de la película;
7. Tasa de recuperación del agua A través de un diseño de proceso especial, se ha mejorado considerablemente el rendimiento del equipo.Tasa de recuperaciónHasta70%V;
8. El equipo tiene una función de recordatorio automático para el reemplazo de consumibles, y el ciclo de reemplazo de consumibles depende de los cambios en la calidad del agua y la presión, en lugar de basarse en el tiempo de uso de los consumibles, teniendo en cuenta las diferencias en la calidad del agua en varios lugares, el diseño es más científico;
9. Función de autoprotección La función de protección de parada automática de la escasez de agua de origen también tiene la función de producción automática de agua de la escasez de agua del tanque de agua y parada automática de agua completa.
- - la empresa puede proporcionar equipos de agua ultrapura industrial 250l / h a 1000t / h - - - consulte al servicio al cliente en línea para obtener más información sobre parámetros.