Taller de limpieza de óptica electrónica

La ingeniería de purificación de microelectrónica óptica se define como la eliminación de partículas de polvo, aire dañino, bacterias, etc. contaminantes en el aire dentro de un cierto rango de espacio, y el control de temperatura y humedad interior, limpieza, presión interior, velocidad y distribución del flujo de aire, vibración acústica e iluminación, electricidad estática en un determinado rango de demanda en un espacio cerrado especialmente diseñado.
El proyecto de purificación de microelectrónica óptica también se llama cámara libre de polvo o Cámara de limpieza, y ahora es una instalación indispensable e importante en semiconductores, fabricación de precisión, fabricación de cristales líquidos, fabricación óptica, fabricación de placas de circuito y bioquímica, medicina, fabricación de alimentos y otras industrias. En los últimos años, debido a la innovación y el desarrollo de la tecnología, la demanda de alta precisión y miniaturización de productos es más urgente, como la investigación y fabricación de circuitos integrados súper grandes, que se ha convertido en un proyecto muy importante en el desarrollo científico y Tecnológico en todos los países del mundo, mientras que el concepto de diseño y La tecnología de construcción de nuestra empresa están en la posición de liderazgo en la industria.
La ingeniería de purificación de microelectrónica óptica generalmente incluye:
1. zonas de producción limpias
2. salas auxiliares limpias (incluidas las Salas de purificación de personal, las Salas de purificación de materiales y algunas salas de vida, etc.)
3. Área de gestión (incluyendo oficina, servicio, gestión y descanso, etc.)
4. Área de equipos (incluyendo aplicaciones de sistemas de purificación y aire acondicionado, habitaciones eléctricas, habitaciones de agua y gas de alta pureza, habitaciones de equipos fríos y calientes)
Principio de purificación de ingeniería de purificación de microelectrónica óptica
Flujo de aire → purificación de efecto inicial → aire acondicionado → purificación de efecto medio → suministro de aire del ventilador → tubería → salida de aire de purificación de alta eficiencia → soplar en la habitación → quitar polvo y bacterias
El proceso anterior se puede repetir con partículas como → persianas de retorno de aire → purificación de efecto inicial para lograr el propósito de purificación.
Parámetros de purificación de ingeniería de purificación de microelectrónica óptica
Número de ventilación: 100.000 ≥ 15 veces; Nivel 10000 ≥ 20 veces; 1000 ≥ 30 veces. Diferencia de presión: taller principal a habitaciones adyacentes ≥ 5pa
Velocidad media del viento: 10 y 100 grados 0,3 - 0,5 m / s; La temperatura es superior a 16 ℃ en invierno; Verano < 26 ° c; Fluctuación ± 2 ° c.
Temperatura 45 - 65%; La humedad del taller de polvo GMP es de alrededor del 50%; La humedad del taller electrónico es ligeramente alta para evitar la electricidad estática.
Ruido ≤ 65db (a); El volumen de reposición de aire fresco es del 10% al 30% del volumen total de suministro de aire; Iluminación 300lx.